ZEISS XENOS 1）検収試験時のプローブ長さ94 mm、プローブ直径12 mm 2）測定長さL単位mm 3）円度測定中の走査速度5 mm/s、フィルタリング50 UPR 4）測定位置はキャリブレーション位置付近であり、測定ヘッド特性5を記録するために指定された精度を確保する1）安全輸送高さは